負(fù)電子親和勢(shì)光陰極
[拼音]:fudianzi qinheshi guangyinji
[外文]:negative electron affinity photocathode
表面勢(shì)壘低于導(dǎo)帶底的光陰極(如GaAs:Cs-O)。表面勢(shì)壘高于導(dǎo)帶底的稱為正電子親和勢(shì)光陰極(如Sb-K-Na-Cs);表面勢(shì)壘平于導(dǎo)帶底的稱為零電子親和勢(shì)光陰極(如GaAs:Cs)(圖1)。
1963年美國(guó) R. E.西蒙斯根據(jù)半導(dǎo)體能帶理論提出負(fù)電子親和勢(shì)概念。1965年荷蘭J.J.席爾和J.范拉制成GaAs:Gs光陰極。人們又制出其他Ⅲ-Ⅴ族化合物光陰極,如 InP,GaxIn1-xAs(0<x<1),GayIn1-yPzAs1-z(0<y<1,0<z<1)等,統(tǒng)稱為Ⅲ-Ⅴ族化合物負(fù)電子親和勢(shì)光陰極。
對(duì)負(fù)電子親和勢(shì)光陰極表面吸附的Cs-O層的解釋,有異質(zhì)結(jié)和偶極子兩種模型(圖2)。異質(zhì)結(jié)模型認(rèn)為,Cs-O表面層是一層體狀的、具有N型半導(dǎo)體性質(zhì)的Cs2O,它與P型Ⅲ-Ⅴ族化合物晶體(如摻Zn的GaSb)接觸,形成異質(zhì)結(jié)。此模型給出在表面吸附層內(nèi)有一界面勢(shì)壘(約 1.2電子伏)。根據(jù)偶極子模型,Cs-O層是很薄的Cs偶極子與Cs2O偶極子串聯(lián)的雙偶極子,其厚度約8埃。這與單原子尺度的實(shí)驗(yàn)是一致的。
光陰極分反射式和透射式兩種。入射光的方向與電子發(fā)射的方向相反,稱為反射式;入射光的方向與電子發(fā)射的方向相同,稱為透射式。
透射式GaAs光陰極的靈敏度最高可達(dá)2毫安/流,量子效率(電子/光子)為27%,表面逸出幾率為42%,λth為0.9微米。
實(shí)驗(yàn)證明,Eg<1.2電子伏(即λth>1微米)的 Ⅲ-Ⅴ族化合物的激活條件比較臨界,難以獲得最佳表面狀態(tài)而且長(zhǎng)波量子效率很低。這是由于Ⅲ- Ⅴ族化合物發(fā)射層與Cs-O表面吸附層形成的界面勢(shì)壘所致。當(dāng)發(fā)射層的Eg<1.2電子伏時(shí),被激發(fā)到導(dǎo)帶底相應(yīng)能量的電子被這個(gè)界面勢(shì)壘所“阻擋”而不能逸至真空。應(yīng)用偏壓輔助場(chǎng)則使被“阻擋”的電子獲得附加的能量,越過(guò)這個(gè)界面勢(shì)壘或利用隧道效應(yīng)穿過(guò)這個(gè)界面勢(shì)壘,在外電場(chǎng)的作用下發(fā)射至真空中,從而提高λth>1 微米的量子效率。為了進(jìn)一步改善電子在晶體內(nèi)的傳輸性能,以便得到最優(yōu)化條件,可將入射光的吸收層與電子發(fā)射層分開(kāi),這就是轉(zhuǎn)移電子負(fù)電子親和勢(shì)光陰極。實(shí)際上在同一個(gè) Ⅲ-Ⅴ族化合物負(fù)電子親和勢(shì)光陰極中可同時(shí)使用偏壓輔助場(chǎng)和轉(zhuǎn)移電子的工藝。
透射式Ⅲ- Ⅴ族化合物負(fù)電子親和勢(shì)光陰極的光譜響應(yīng)范圍在一定的條件下是可以設(shè)計(jì)的,其λth受窗口玻璃或襯底的限制;而λth并決定于發(fā)射體的Eg。設(shè)計(jì)時(shí)須注意選擇襯底、過(guò)渡層(突變或緩變)、發(fā)射層、窗口玻璃的光學(xué)性能(除發(fā)射層吸收入射光以外,其他各層對(duì)入射光應(yīng)盡可能透過(guò))、晶體性能(襯底與外延層的晶格要匹配)、熱性能(各層的熱膨脹系數(shù)要接近)和選擇性腐蝕液。
反射式Ga0.23In0.77As光陰極的λth約為2.1微米。為使λth再向長(zhǎng)波延長(zhǎng), 只有選擇Eg比較小的三元或四元Ⅲ-Ⅴ族化合物,例如InPxAs1-x,GaxIn1-xSb,InPxSb1-x,GaxIn1-xAsyP1-y(以上),InPxAsySbz(x+y+z=1)。要實(shí)現(xiàn)這些Ⅲ-Ⅴ族化合物負(fù)電子親和勢(shì)光陰極,首先要解決多 層異質(zhì)外延生長(zhǎng),其次要解決光陰極的冷卻(因?yàn)?i>λth越長(zhǎng),則熱發(fā)射越大)。
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